| 型號 | Bipolar Sputtering BP-6030 | Bipolar Sputtering BP-6040 | Bipolar Sputtering BP-6060 |
| 輸入?yún)?shù) | |||
| 輸入電壓 | 400V - 480V 10% (3+ PE,No Neutral) | ||
| 輸入頻率 | 50/60Hz(45-65)Hz | ||
| 最大輸入電流 | 3x66A | 3x88A | 3x 132A |
| 輸出參數(shù) | |||
| 額定輸出功率 | 30kW | 40kW | 60kW |
| 電壓范圍 | 0-600V/0-1000V | 0-600V/0-1000V | 0-600V/0-1000V |
| 電流范圍 | 0-125A/0-75A | 0-166A/0-100A | 0-250A/0-150A |
| 脈沖頻率 | 0,1Hz-100kHz | ||
脈沖時間 | Ton: 1-1000 ms Toff: 1-1000 ms | ||
| 工作模式 | 功率、電壓、電流 | ||
輸出精度 | ±0.5% | ||
| 重復(fù)精度 | ±0.2% | ||
| LCD | 支持 | ||
| RS232 | 支持 | ||
| PROFIBUS/RS485 | 支持 | ||
| EtherCAT | 支持 | ||
| 模擬量輸入 | 支持 | ||
| ARC檢測 | lmax、 Uxl、dU | ||
| ARC能量 | <0.3 mJ/kW | ||
| ARC處理時向 | <100ns | ||
| 工作環(huán)境溫度 | +5°C~+45° | ||
| 存儲環(huán)境溫度 | -25°C~+55° | ||
| 相對濕度 | 5-85%無冷凝 No condensation | ||
| 氣壓 | 86-106kPa | ||
| 防護(hù)等級 | IP40 | ||
| 外形尺寸 | 480mm x 356mm x 730mm | 480mm x 356mm x 730mm | 480mm x534mm x 730mm |
| 重量 | 98kg | 108kg | 148kg |
| 絕緣阻抗 | ＞5MQ | ||
| 效率 | >90% | ||
| 冷卻方式 | 水冷 Water coling | ||
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